凭借外星科技建立星海王朝第371章 放大 激光诱导

楚千澜指尖在桌面轻叩眼中闪过一丝亮色。

这种光刻技术科技图书馆里也是有的但想要实现其中涉及到的技术比正常光刻机还要多一些。

对于深蓝半导体来说研发光刻机亦或者放大光刻空间这两种方案各有利弊。

光刻机已经是成熟的技术方案深蓝半导体只要想办法规避其中的专利就可以造出符合使用要求的光刻机。

放大光刻空间虽然能够规避大量的核心专利但这属于全新的研发所有难题都要深蓝半导体的技术团队自己解决。

然而想到女娲系统的存在楚千澜心中也有了决定。

“放大空间规避非核心专利？这个思路倒是新颖。

但光刻机的核心诉求是精度与稳定性放大体积后光学系统的校准、工作台的振动控制肯定会出现一系列新问题？” 张北光上前一步打开平板上面呈现出一个三维模型图：“楚总放心我们做过仿真测试。

将机身横向放大200%非核心部件的加工精度要求可从±0.005微米放宽至±0.01微米可以避开87项国外非核心专利； 光学系统方面我们采用‘分段校准’方案通过额外增加的激光定位模块补偿体积放大带来的光路偏差精度能稳定在原有水准； 工作台振动问题恒川机械已定制出加强型阻尼基座能将高速运转时的震颤幅度控制在0.002微米以内完全满足45纳米光刻要求。

” 王世杰在一旁补充道：“更关键的是成本优势！放宽精度要求后国内厂商能生产的零部件比例从35%提升至92%单台光刻机的制造成本可降低40%。

而且核心部件的专利绕开方案也有了进展张北光团队已找到12项替代技术路径正在进行原型测试。

” 楚千澜俯身盯着模型图上的标注指尖划过放大后的机身结构：“这个方案可行但要把握两个关键。

第一核心部件的专利绕开必须彻底不能给国外厂商留下诉讼漏洞；第二体积放大不能影响量产效率深蓝半导体未来的产能需求只会越来越大。

” 张北光立刻应声：“楚总放心核心专利绕开我们采用‘反向设计+功能等效’双路径验证。

比如光刻胶涂布模块我们放弃国外主流的‘旋转喷涂’专利改用‘狭缝挤压涂布’技术实测涂布均匀度误差仅0.003微米完全达到要求； 量产效率方面我们优化了晶圆传送臂的运动轨迹虽然机身放大但单批次晶圆处理时间仅增加0.8秒。

通过增加并行处理单元整条产线的年产能可以稳定在33万片以上足以支撑繁星科技和下游合作厂商的需求。

当然这些数据都是通过女娲系统测算与现实肯定有所差距！” 王世杰补充道：“我们还做过测算放大版65纳米光刻机的研发周期预计12个月只比复刻原版增加了3个月； 量产成本降低40%这意味着后续扩产时我们能以更低的投入快速搭建新产线应对芯片需求的爆发式增长。

” 楚千澜指尖轻叩桌面眸色渐沉：“12个月的研发周期时间可以接受。

这套设备你们研发的是65纳米的还是45纳米的？” 听到询问张北光眼中闪过一丝兴奋“楚总我们准备直接研发45纳米制程的光刻设备！ 虽然没有拆解过45纳米光刻机但我们在国外工作时见过那些设备对结构很熟悉。

再加上拆解65纳米光刻机的经验研发一套扩展空间后的光刻设备我们团队还是很有信心的。

只是其中的光源设备还需要采购这里面的专利技术太多我们短时间无法突破限制！” 楚千澜略作沉吟语气坚定的开口“你们先研发光刻机主体至于光源部分我再想想办法。

前段时间我看到一篇关于“激光诱导放电等离子体”的文章感觉可以将其用来制作光刻机的光源我最近会使用女娲系统推演一番若是可以你们按照我给的技术大纲研发就行了！” 此时他已经准备从科技图书馆中拿技术了至于使用女娲系统推演也只是借口而已。

王世杰和张北光对视一眼都从对方眼中看到了难以置信的惊喜。

他们虽然也能使用女娲系统但受权限所限根本无法做到大规模搜索资料并进行推演。

这种事情也只有拥有女娲系统最高权限的楚千澜才可以调用所有资源推进下去。

“楚总您是说……您要亲自解决光源问题？”王世杰的声音都有些发颤。

光刻机的光源是整个设备的“心脏”技术壁垒极高长期被少数几家国外公司垄断。

他们原本以为就算主体设备研发成功光源也将成为卡脖子的关键至少需要走特殊渠道花重金从国外采购而且还可能面临鹰酱以及国外芯片巨头的阻挠。

楚千澜淡淡点头：“嗯那个理论还算完善值得一试。

你们先集中精力攻克主体部分我收集一下资料就进行推演。

若是行不通就准备从国外进口！” 他语气平静却带着一种不容置疑的自信让两人瞬间安心下来。

“请楚总放心！”张北光激动地挺直了腰板仿佛浑身都充满了力量“我们保证12个月内一定拿出能稳定量产的45纳米光刻设备。

” 两人离开后楚千澜独自留在办公室他调出了“女娲系统”开始搜集“激光诱导放电等离子体”的相关资料。

即便有整套的技术他也要根据现有的理论资料确定拿出的资料不会超纲太多。

就在楚千澜研究光源系统该如何绕过国外专利屏障的时候国外与芯片相关的巨头企业代表已经齐聚一堂。

他们此时已经获得星途EDA工具与星象指令集的试用版本正在研讨应阻击星源探索发展的方案。

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